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       由特定孔徑、孔隙率的微孔陶瓷和含有氣槽的底座（致密陶瓷、金屬、Peek等）通過專用膠水粘結(jié)固化，再經(jīng)平面研磨獲得的高精平面度和平行度的產(chǎn)品；

       廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體（硅片及晶圓減薄、劃片、涂膠、清洗、檢測(cè)）、顯示面板（玻璃、柔性屏幕）、絲網(wǎng)印刷及機(jī)床上的真空吸附平臺(tái)及治具。